micro-capteur d'accélération capacitif

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Y

yuu

Apprenti
Bonjour,
Je dois concevoir un micro-capteur d'accélération (accéléromètre) basé sur un principe capacitif et devant être fabriqué par micro-fabrication.
Je sais que la détection consiste à évaluer, lors de l’accélération, les variations de capacité lorsque le corps d’épreuve s’éloigne ou se rapproche de l’élément fixe.
Cependant le système que je dois élaborer doit etre élaborer des équations qui gouvernent son fonctionnement.
Le probleme c'est que je ne sais pas par ou commencer le procédé de fabrication.
Avez vous déjà concu ce genre de système ?
 
G

gégé62

Compagnon
bonjour,
ton exposé est bien trop flou pour que l'on puisse t'aider efficacement.
S'agit-il d'un bricolage à faire en quelques heures, ou d'un capteur destiné à l'aérospatiale ?
Quel est le contexte (enseignement, recherche, production....), la précision recherchée, la fiabilité, l'encombrement admissible, les moyens dont tu disposes, ton expérience ou ton niveau de connaissances en mécanique (théorique, pratique),en électronique, ton budget....ça fait beaucoup. C'est sans doute pour ça qu'il y a pour l'instant 0 réponse, je me dévoue :)
 
Y

yuu

Apprenti
Ah desolé, alors je suis en 3éme année de licence ingenierie mecanique. On ma demandé d'élaborer une proposition de procédé de fabrication avec explication des étapes avec une série de vues en coupes La fabrication d'un micro-capteur d'accélération capacitif.
puis dans une seconde partie les informations de conception afin de trouver la géométrie du dispositif et sa justification.
Le capteur aura une sensibilité maximale avec une taille de la partie sensible (excluant les contact électriques extérieurs) devant être au maximum de 1mm2 • Le capteur devra permettre de mesurer l'accélération en statique et pour des vibrations de fréquence maximale 1kHz • la fabrication sera basée sur le dépôt de couches minces et leur ajourage • le substrat pourra être une plaquette de silicium ou de verre
 
M

metalux

Compagnon
yuu a dit:
Ah desolé, alors je suis en 3éme année de licence ingenierie mecanique
Cliquez pour agrandir...
yuu a dit:
Le probleme c'est que je ne sais pas par ou commencer le procédé de fabrication
Cliquez pour agrandir...

bonjour
ne le prend pas mal mais en 3éme année ingé tu es loin d'être un c.. normalement , si on te demande ça ç'est qu'on a jugé tes capacités aptes a résoudre ce sujet.
tu devrais pouvoir te débrouiller seul non?:wink:

ce n'est que mon point de vue, j'espère que tu aura la solution a ta question
 
Y

yuu

Apprenti
Bah oui mais je fais de la mécanique, je suis plus dans la fabrication de pièce, pas éléctronique, c'est ça qui m'embete la partie electronique on en fait pas dans mon parcours enfin pas pour l'instant.
 
F

francis75

Ouvrier
Bonjour,

J'ai utilisé ce genre de capteurs. Ce sont des MEMS.
En cherchant on trouve pas mal de descriptions.
Le principe est une plaque fixe face à une plaque mobile liée à une masse, avec entre les deux un diélectrique.
En se déplaçant, la surface des plaques en regard l'une de l'autre change, donc la capacité.
Le calcul théorique de capacité entre 2 surfaces doit se trouver dans un livre d'électromagnétisme niveau licence.
J'ai fait ça lors de mes études, mais c'est loin.

Regarder aussi du côté des fabricants Analog Devices et Maxims. Ils ne sont pas avares d'infos. Je ne me souviens plus des capteurs que j'avais utilisés.
 
Y

yuu

Apprenti
Oui c'est ce que je viens de voir,
La fabrication de celui que je dois réaliser sera basée sur le dépôt de couches minces et leur ajourage est ce que cela change quelques choses a ceux que vous avez utilisez ?
 
F

francis75

Ouvrier
Je ne sais pas répondre avec exactitude, alors préfère ne rien dire.

Je viens de regarder mes archives,
J'ai utilisé des ADXL203 et ADXL278 (Analog Devices). Mise en œuvre uniquement. Je ne les ai pas recalculés. Alors je ne peux pas plus vous aider et - je viens de vérifier - je n'ai pas conservé plus d'infos. C'était il y a 10 ans ! Je me souviens à l'époque avoir trouvé de la documentation de bon niveau sans problème. Regarder aussi sur google scholar les publis scientifiques, il doit bien y avoir des choses, mais il ne faut pas perdre son temps dans des considérations trop techniques.
 
Y

yuu

Apprenti
D'accord merci, le problème c'est que niveau electronique je n'ai pas beaucoup de compétence, ce qui rend le travail plus dur .
 
F

francis75

Ouvrier
Je ne me souviens pas que le calcul de capacité soit difficile.
 
Y

yuu

Apprenti
Niveau calcule je ne pense pas que j'aurai de la difficultés, c'est plutôt le fait de faire un procédé de fabrication avec explication des étapes avec une série de vues en coupe avec les masques d'ajourages. Quand je vois les documents je ne visualise pas vraiment les étapes de fabrication et c'est surtout faire des series de vu de coupe qui m'intrigue.
 
F

francis75

Ouvrier
Vous avez besoin de la surface, de l'épaisseur entre les plaques et de epsilon, permittivité du diélectrique. Les livres d'exercices avec résumés de cours en élecrtromagnétisme ou électrostratique devraient vous aider efficacement. Désolé mais je n'ai pas conservé mes livres d'études.

EDIT : Pour la fabrication, ce n'est vraiment pas mon domaine.
 
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